精测电子:半导体在手订单约36.09亿元,14nm制程获新订单

财闻 2026-10-16 21:27:39

近日,精测电子(300567.SZ)在特定对象调研中介绍了核心业务进展。

半导体领域,公司紧抓国产化替代窗口期,加大对28nm以下先进制程研发与产品布局,明场缺陷检测、无图形暗场缺陷检测设备等新产品研发及产业化取得显著进展;新取得头部客户明场缺陷检测14nm工艺节点相关订单,实现先进制程市场应用突破。截至《2026年半年度报告》披露日,公司取得在手订单金额总计约55.89亿元,较上年同期增长54.89%,其中半导体领域在手订单约36.09亿元,较上年同期增长98.00%。

明场光学缺陷检测设备方面,面向先进逻辑、存储制程的有图形晶圆缺陷检测设备已完成28nm制程产线验收和14nm制程产线交付,2026年上半年新取得国内头部客户14nm制程订单并已完成交付。

此外,HBM先进封装前道量检测领域,膜厚系列产品、OCD设备、电子束设备、明场光学缺陷检测设备等核心产品已全部导入先进封装产线;TGV领域已形成专项产品布局并累计交付多台设备,具备亚微米至微米级量测能力;核心零部件及所需国产软件绝大部分已实现自主研发和生产。关于重组事项,公司已于2026年7月16日披露重大资产重组预案,目前审计、评估、法律尽职调查等工作尚未完成。

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